Pooljuhtpuhasruumis (FAB) oleva suhtelise õhuniiskuse sihtväärtus

Pooljuhtide (FAB) puhasruumi suhtelise õhuniiskuse sihtväärtus on ligikaudu 30–50%, mis lubab väikest veamarginaali ±1%, näiteks litograafiatsoonis – või veelgi väiksemat kaugultraviolettkiirguse töötlemise (DUV) tsoonis –, samas kui mujal saab seda leevendada ±5%-ni.
Kuna suhtelisel õhuniiskusel on mitmeid tegureid, mis võivad vähendada puhaste ruumide üldist jõudlust, sealhulgas:
1. Bakterite kasv;
2. Töötajatele sobiv toatemperatuuri mugavusvahemik;
3. Ilmneb elektrostaatiline laeng;
4. Metalli korrosioon;
5. Veeauru kondenseerumine;
6. Litograafia lagunemine;
7. Veeimavus.

Bakterid ja muud bioloogilised saasteained (hallitusseened, viirused, seened, lestad) võivad vohada keskkonnas, mille suhteline õhuniiskus on üle 60%. Mõned bakterikommuunid võivad kasvada ka üle 30% suhtelise õhuniiskuse juures. Ettevõte usub, et õhuniiskust tuleks kontrollida vahemikus 40–60%, mis aitab minimeerida bakterite ja hingamisteede infektsioonide mõju.

Suhteline õhuniiskus vahemikus 40–60% on inimese mugavuse seisukohast samuti mõõdukas vahemik. Liiga kõrge õhuniiskus võib tekitada inimestel umbsust, samas kui alla 30% õhuniiskus võib põhjustada kuivust, naha lõhenemist, hingamisraskusi ja emotsionaalset õnnetust.

Kõrge õhuniiskus vähendab tegelikult elektrostaatiliste laengute kogunemist puhasruumi pinnale – see on soovitud tulemus. Madal õhuniiskus on ideaalne laengute kogunemiseks ja potentsiaalselt kahjulikuks elektrostaatilise tühjenemise allikaks. Kui suhteline õhuniiskus ületab 50%, hakkavad elektrostaatilised laengud kiiresti hajuma, kuid kui suhteline õhuniiskus on alla 30%, võivad need isolaatoril või maandamata pinnal pikka aega püsida.

Rahuldava kompromissina võib kasutada suhtelist õhuniiskust vahemikus 35–40% ning pooljuhtide puhasruumides kasutatakse elektrostaatiliste laengute kogunemise piiramiseks üldiselt täiendavaid juhtimisseadmeid.

Paljude keemiliste reaktsioonide, sealhulgas korrosiooniprotsesside kiirus suureneb suhtelise õhuniiskuse suurenemisega. Kõik puhasruumi ümbritseva õhuga kokkupuutuvad pinnad on kiired.