BSLtechi pooljuhtide LAHENDUS
Oma teadmiste arendamiseks pooljuhtide valdkonnas on sageli vaja puhtaid ruume või kõrge ISO-klassiga (ISO 5 või kõrgem) laminaarvoolukappe. Kas tegelete UV-tundlike protsessidega? Isegi siis varustab BSL õiget puhast ruumi. Puhasruumides on kvaliteetne seinaviimistlus ja UV-filtriga valgustus. Kasutades antistaatilisi (ESD) materjale ja antistaatilisi vardaid filtrisüsteemis, neutraliseerib õhu staatiline laeng.
Kui degaseerimist ei soovitata, pakub BSL puhast ruumi mitte-välja eralduvatest materjalidest (PU). See tehnoloogia pärineb kosmosetööstusest.
Tüüpilised protsessid pooljuhtide tööstuses:
● Substraatide ja räniplaatide kaitse
● EUV Research
● Maskide joondajad
● Vaakumkate, õhukese kile sadestamine
● Printimisrakendused
● Optika
Esi- ja tagaotsa protsessid