BSLtechi pooljuhtide lahendus
Pooljuhtide tööstuses oskusteabe arendamine nõuab sageli kõrge ISO-klassiga (ISO 5 või kõrgem) puhasruume või laminaarvoolukappe. Kas tegelete UV-tundlike protsessidega? Isegi siis pakub BSL õiget puhasruumi. Puhasruumidel on kvaliteetne seinaviimistlus ja UV-filtriga erivalgustus. Antistaatiliste (ESD) materjalide ja filtrisüsteemi antistaatiliste ribade abil neutraliseeritakse õhus olev staatiline laeng.
Kui gaaside eemaldamine pole soovitav, pakub BSL gaasivabade materjalide (PU) puhasruumi. See tehnoloogia pärineb lennundustööstusest.
Tüüpilised protsessid pooljuhtide tööstuses:
● Substraatide ja räniplaatide kaitse
● EUV-uuringud
● Maskijoondajad
● Vaakumkatmine, õhukese kile sadestamine
● Printimisrakendused
● Optika
Esiotsa ja tagaotsa protsessid
Avaleht
Tooted
Võta meiega ühendust
Uudised